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유량교정

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molbox RFM 기준 유량 모니터
  • 작은 크기
  • Molbloc-L로 1sccm~1slm의 유량 범위를 지원하며 molbloc-S로 최대 5000slm의 유량을 지원합니다.
  • 20개의 가스 중에서 선택
  • 100:1 rangeability로 측정값의 ± 0.5%의 인증 측정 불확도 지원
  • 온-보드 퍼징, 누수 테스트와 tare 지원을 위한 내부 밸브 지원
  • 합계, 평균, hi/lo 및 편차와 같은 고급 측정 기능 포함
  • 완전한 전면 패널 제어 및 RS232/ IEEE-488 원격 통신
  • 질량 및 용적 유량을 사용자 정의 기준 압력과 온도 조건에서 측정
Molbox RFM 유량 모니터는 molbloc-L 과 molbloc-S 소닉 유량 요소와 함께  질량 유량 측정을 하기 위한 지원 장치입니다.
Molbloc 유량 요소는 두 개의 압력 연결과 하나의 데이터 라인을 통해 molbox RFM Flow Monitor에 연결됩니다. Molbox RFM Flow Monitor는 molbloc EEPROM에서 교정 데이터를 읽어 들이고 내장 높은 정확도 기준 압력 트랜스듀서 (RPT)로 molbloc 상류 및 하류 압력을 측정합니다. ohm측정 시스템이 molbloc의 온도가 산출되는molbloc 백금 저항 온도계로부터 저항값을 읽어 들입니다. Molbox RFM의 메모리에 저장된 Molbloc의 교정 데이터, 압력, 온도 및 가스 속성을 이용하여, molbloc 내부를 통과하는 가스의 유랑이 계산됩니다. Molbloc-L 유량 요소들의 경우, 미세 범위 옵션으로, 유량 범위의 FS 10% 이하에서의 분해능와 정확도를 개선합니다.
Molbox RFM과 molbloc 유량 요소들은 저유량 가스의 고 정확도 측정이 필요한 다양한 측정, 테스트, 교정 용도에 적합합니다. Molbox RFM은 매우 작은 크기, 뛰어난 rangeability와 저렴한 가격이 일차적인 고려사양인 경우를 위해 설계되었습니다. Molbox1+이라는 두 번째 모델은 가능한 한 낮은 불확도가 목표인 경우를 위해 설계되었습니다. 여러분의 질량 유량 시스템을 설정하려면, 다음 페이지들을 참고하여 여러분의 유량 범위와 압력 조건에 가장 잘맞는 molbloc과 압력 의존 교정을 선택하십시오. 시스템을 완전하게 구성하기 위한 molstic 장착 시스템과 COMPASS® for molbox Flow 교정 소프트웨어도 선택하실 수 있습니다.
유량 측정 사양
Molbox RFM은 molbloc 유량 요소를 통과하는 유량을 측정합니다. 유량 범위, 가용 운전 압력, molbloc-L의 차압, molbloc-S의 유량 범위와 절대 압력 범위 등은 사용되는 molbloc 요소와 교정 옵션의 영향을 받습니다. 교정 및 범위 정보는 molbloc-L과 molbloc-S 범위 시트를 참고하십시오
. 3E4까지의 Molbloc-L의 경우, 마이크로레인지 옵션을 이용하면 FS 10% 이하 분해능와 정확도가 개선됩니다. 1E5-L molbloc의 경우, 사양을 준수하기 위해 마이크로레인지 옵션이 필요합니다.
molbox RFM Reference Flow Monitors
 
molbloc-L (1E1-L ~ 3E4-L)
모든 범위
측정 갱신 율
 
1초
1초
범위
가스와 molbloc 압력에 따라 molbloc 전체 스케일 까지
교정 종류 의존 (molbloc-L 범위 표 참고)
20kPa~200kPa 절대 (3 psia~30psia) 혹은 50kPa ~ 500kPa 절대 (7psia ~ 70psia) 상류
(molbloc-S 범위 표 참고)
분해능
0.01 % FS
측정값의 ± 0.01 %
선형도
10 % ~ 100 % FS에서 측정값의 ±0.23%
10 % FS 이하 ± 0.023 % FS
측정값의 ± 0.25 %
반복성
10 % ~ 100 % FS에서 측정값의 ±0.1%
10 % FS 이하 ± 0.01 % FS
측정값의 ± 0.1 %
정밀도1
10 % ~ 100 % FS에서 측정값의 ±0.25%
10 % FS 이하 ± 0.025 % FS
측정값의 ± 0.3 %
예측 안정도2
1년
10 % ~ 100 % FS에서 측정값의 ±0.15%
10 % FS 이하 ± 0.015 % FS
측정값의 ± 0.2 %
측정 불확도3
 
10 % ~ 100 % FS에서 측정값의 ±0.5%
10 % FS 이하 ± 0.05 % FS
50kPa~500kPa에서 측정값의 ± 0.5% ±유량의 0.5%
20 kPa ~ 50 kPa 사이에서 50 kPa
 
molbox RFM with 마이크로레인지 option
 
molbloc-L (1E1-L ~ 3E4-L)
molbloc-L (1E5 전용)
측정 갱신 율
1초
1초
범위
가스와 molbloc 압력에 따라 molbloc 전체 스케일 까지
교정 종류 의존 (molbloc-L 표 참고)
가스와 molbloc 압력에 따라 molbloc 전체 스케일 까지
교정 종류 의존 (molbloc-L 표 참고)
분해능
0.001 % FS 이하 ± 0.01 % FS
 10 % FS
0.01 % FS
선형도
FS 1%~100% 까지 측정값의 ± 0.23%, FS 1% 이하에서 FS ± 0.0023%
5 % ~ 100 % FS에서 측정값의 ±0.25%
5 % FS 이하 ± 0.0125 % FS
반복성
1 % ~ 100 % FS에서 측정값의 ±0.1%
1 % FS 이하 ± 0.001 % FS
5 % ~ 100 % FS에서 측정값의 ±0.2%
5 % FS 이하 ± 0.01 % FS
정밀1
1 % ~ 100 % FS에서 측정값의 ±0.25%
1 % FS 이하 ± 0.0025 % FS
5 % ~ 100 % FS에서 측정값의 ±0.32%
5 % FS 이하 ± 0.016 % FS
예측 안정도2
1년
1 % ~ 100 % FS에서 측정값의 ±0.15%
1 % FS 이하 ± 0.0015 % FS
5 % ~ 100 % FS에서 측정값의 ±0.2%
5 % FS 이하 ± 0.01 % FS
측정 불확도3
1 % ~ 100 % FS에서 측정값의 ±0.5%
1 % FS 이하 ± 0.005 % FS
5 % ~ 100 % FS에서 측정값의 ±0.5%
5 % FS 이하 ± 0.025 % FS
모든 범위
Microrange 없는 molbox RFM과 동일 사양 Microrange 트랜스듀서는 molbox RFM이 molbloc-S에 연결될 때 중지됩니다.
1정밀도: 총 선형도, 이력도, 재현성
2 예측 안정도: 일반적인 molblox RFM과 molbloc의 통상적인 운전 환경에서의 영점과 스팬의 지정 시간 기간 사이의 최대 변화 안정도는 예측만할 수 있으며, 특정 molblox RFM의 안정도는 경험을 통해 정립되어야 합니다.
3 측정 불확도 : DHI 교정 표준 불확도, 정밀도, 안정도를 고려한 molblox1 RFM 유량 지시값의 참값으로부터의 최대 변이. Molbloc의 측정 불확도 사양은 molbloc의 교정이 이루어진 가스에 대해서만 유효합니다. 모든 molbloc은 N2로 교정되었습니다. 다른 가스에 대한 교정은 선택사양입니다. DHI 교정 기능은 모든 가스에 대해 모든 molbloc 지정에서 상시 유지되지는 않습니다. 주문 전에 사용 가능한 지 문의하십시오