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유량교정

molboc-L 층류성분(Laminar Flow Element) 목록보기
molboc-L 층류성분(Laminar Flow Element)
특징 한 눈에 보기
  • 기존 molbox1+과 molbox RFM 질량 유량 터미널과 COMPASS 소프트웨어와 사용 가능
  • 오염을 방지하는 내장 필터
  • 내재 가스 온도 조절 및 측정
  • 연속적인 실시간 측정값
  • 완전 자동화 가능
  • 유동 부품 없음
Molbloc-L 범위
Molbloc의 크기는 공칭 유량 임피던스에 따른 번호를 부여받습니다. 공칭 유량 범위의 공칭 임피던스는 질소 가스를 상류 250kPa 절대압 (36psia)과 차압 50kPa (7.5 psid)로 molbloc에 흐르도록 할 때 발생합니다. 실제 사용상의 molbloc 유량 범위는 공칭 범위와 다를 수 있습니다. 이 차이는 가스 간의 점도와 밀도 차이 및 서로다른 molbloc 운전 압력 교정 옵션들로 인해 발생합니다.
1 sccm에서 100 slm 사이의 유량을 위한 층류성분(Larminar Flow Element)
Molbloc-L은 molbox 질량 터미널과 사용할 수 있는 층류성분(laminar flow element)입니다. Molbloc의 유량 경로는 피스톤과 molbloc 몸체에 딱 맞는 동심원 구멍 사이의 길이 방향 환형 갭입니다. 간격의 크기를 변화시켜 서로 다른 molbloc 범위를 얻습니다. 고유량 범위 (1E4 이상)을 위해서는 대형 molbloc 몸체와 대형 동심원 bore를 사용합니다.
사양 – 표준 molbloc-L 교정 – molbox1+ 사용시
측정 갱신 율 1초
범위 가스와 molbloc 압력에 따라 molbloc 전체 스케일 까지
교정 종류 의존 (section 1.2.5.1.3 참고)
분해능 0.0015 % FS
선형도 ±0.05% 측정값 10% ~ 100% FS,
10 % FS 이하 ± 0.005 % FS
반복성 ± 0.05% 측정값 10% ~ 100%FS,
10 % FS 이하 ± 0.005 % FS
정밀도1 ± 0.07% 측정값 10% ~ 100% FS,
10 % FS 이하 ± 0.007 % FS
안정성2
1년
± 0.09% 측정값 10% ~ 100% FS,
10 % FS 이하 ± 0.009 % FS
측정 불확도3 ± 0.2% 측정값 10% ~ 100% FS,
10 % FS 이하 ± 0.02 % FS
(질소나 molbox1+ 지원 가스 중 molbloc이 교정된 것) 1E5 molbloc
± 0.5% 측정값 25% ~ 100% FS,
25 % FS 이하 ± 0.125 % FS
1 정밀도: 직선성, 히스테리시스, 재현성.
22안정도: 일반적인 molblox1+와 molbloc의 통상적인 운전 환경에서의 영점과 스팬의 지정 시간 기간 사이의 최대 변화 안정도는 예측만할 수 있으며, 특정 molbloc과 molbox1+의 안정도는 경험을 통해 정립되어야 합니다.
3 측정 불확도 (정확도): Fluke Calibration 표준 측정 불확도, 정밀도, 안정도를 고려한 molblox1+ 유량 지시값의 참값으로부터의 최대 변이.
사양 – 프리미엄 molbloc-L 교정 – molbox1+ 사용시
측정 갱신 율 1초
범위 가스와 molbloc 압력 의존 교정 형식에 따라 0~ molbloc 전체 스케일 (section 1.2.5.1.2 참고)
분해능 0.0015 % FS
선형도 ± 0.05% 측정값 10% ~ 100% FS,
10 % FS 이하 ± 0.005 % FS
반복성 ± 0.05% 측정값 10% ~ 100% FS,
10 % FS 이하 ± 0.005 % FS
정밀도1 ± 0.07% 측정값 10% ~ 100% FS,
10 % FS 이하 ± 0.007 % FS
안정성2
1년
10% ~ 100% FS에서 측정값의 ± 0.03%,
10 % FS 이하 ± 0.003 % FS
측정 불확도3 10% ~ 100% FS에서 측정값의 ± 0.125%,
10 % FS 이하 ± 0.0125 % FS
(질소나 molbox1+ 지원 가스 중 molbloc이 교정된 것) 1E5 molbloc-L 프리미엄 교정 선택 불가
1 정밀도: 직선성, 히스테리시스, 재현성.
2안정도: 일반적인 molblox와 molbloc의 통상적인 운전 환경에서의 영점과 스팬의 지정 시간 기간 사이의 최대 변화 안정도는 예측만할 수 있으며, 특정 molbloc과 molbox1+의 안정도는 경험을 통해 정립되어야 합니다.
3측정 불확도 (정확도): Fluke Calibration 표준 측정 불확도, 정밀도, 안정도를 고려한 molblox1+ 유량 지시값의 참값으로부터의 최대 변이.
사양 – 표준 molbloc-L 교정 – molbox RFM 터미널 사용시
  molbloc-L (1E1-L ~ 3E4-L)
측정 갱신 율 1초
범위 가스와 molbloc 압력 의존 교정 형식에 따라 0~ molbloc 전체 스케일 (molbloc-L 범위 표 참고)
분해능 0.01 % FS
선형도 FS 10%~100% 까지 측정값의 ± 0.23%, FS 10% 이하에서 ± 0.023% FS
반복성 10%~100% FS까지 측정값의 ± 0.1%, 10% FS 이하에서 ± 0.01% FS
정밀도1 10%~100% FS까지 측정값의 ± 0.25%, 10% FS 이하에서 ± 0.025% FS
예측 안정도2
1년
10%~100% FS까지 측정값의 ± 0.15%, 10% FS 이하에서 ± 0.015% FS
측정 불확도3 10%~100% FS까지 측정값의 ± 0.5%, 10% FS 이하에서 ± 0.05% FS
Microrange 옵션을 가진 molbox RFM
  molbloc-L (1E1-L ~ 3E4-L) molbloc-L (1E5 전용)
측정 갱신 속도 1초 1초
범위 가스와 molbloc 압력 의존 교정 형식에 따라 0~ molbloc 전체 스케일 (molbloc-L 표 참고) 가스와 molbloc 압력 의존 교정 형식에 따라 0~ molbloc 전체 스케일 (molbloc-L 표 참고)
분해능 0.001 % FS 이하 ± 0.01 % FS 0.001 % FS 이하 10% FS 0.01 % FS
선형도 1% ~ 100% FS에서 측정값의 ± 0.23%,
1 % FS 이하 ± 0.0023 % FS
5%~100% FS까지 측정값의 ± 0.25%, 5% FS이하에서 ± 0.0125% FS
반복성 1%~100% FS까지 측정값의 ± 0.1%, 1% FS이하에서 ± 0.001% FS 5%~100% FS 까지 측정값의 ± 0.2%, 5% FS이하에서 ± 0.01% FS
정밀도1 1%~100% FS 까지 측정값의 ± 0.25%, 1% FS 이하에서 ± 0.0025% FS 5%~100% FS까지 측정값의 ± 0.32%, 5% FS 이하에서 ± 0.016% FS
예측 안정도2
1년
1%~100% FS 까지 측정값의 ± 0.15%, 1% FS 이하에서 ± 0.0015% FS 5%~100% FS 까지 측정값의 ± 0.2%, 5% FS 이하에서 ± 0.01% FS
측정 불확도3 1%~100% FS 까지 측정값의 ± 0.5%, 1% FS 이하에서 ± 0.005% FS 5%~100% FS 까지 측정값의 ± 0.5%, 5% FS 이하에서 ± 0.025% FS